洁净度100级cleanliness class 100大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0洁净度1000级cleanliness class 1000大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L)大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)洁净度10000级cleanliness class 10000大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3 (350粒/L)大于等于5μm 的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3 (3粒/L)洁净度100000级cleanliness class 100000大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3 (3500粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)洁净度300000级cleanliness class 300000大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3 (10500粒/L)大于 等于5μm的尘粒数大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3 (90粒/L)
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